气体稀释校准仪

标准配置

气动部分
稀释气质量流量控制器，0～10 SLM
源气质量流量控制器，0～100 SCCM
2个校准气输入接口和一个清洗接口
4个输出接口和一个出风口
1个稀释气输入接口

电子器件
高亮度彩色显示屏（显示为黑白EL屏）
42键触摸键盘
8位数字I/O接口
2个串行数据通讯接口
外部PC键盘输入接口
并行打印机接口
气源控制接口

电动部分
98～264 VAC，150～300 VA，50/60 Hz运行

Sabio 2010D型气体稀释校准仪
可选配置
稀释气质量流量控制器，范围0～20 SLM
源气质量流量控制器，范围0～1 SLM
第二个源气质量流量控制器，范围0～1 SLM
额外的校准气接入口
渗透口
内置臭氧发生器
臭氧发生器UV随动控制回路
侧装便携带
耐抗击的运输箱
以太网TCP/IP容量

Sabio 2010D型
产品规格

稀释系统
稀释气进口：1个标准接口
源气进口：2个标准接口，1个清洗接口
额外进口：2个额外接口
稀释气质量流量控制器：0～10 SLPM；可选范围0～20 SLPM
源气质量流量控制器：0～100 SCCM；可选范围0～1 SLPM
第二个源气质量流量控制器：0～1 SLPM
流量准确度：≤±1%满量程
流量重现性：≤±0.15%满量程
线性：≤±0.5%满量程
输入压力：20～35 psig
输出接口：4个标准输出口

可选的内置臭氧发生器
输出：0.05～1.5 ppm@5SLPM
准确度：±2%或者±3 ppb@5SLPM
流量：100 SCCM，±1 SCCM
UV灯温度：50 ℃，±0.1 ℃

校准界面
运行：通过42键触摸键盘手动控制
校准设置：20个出厂设定的校准序列，每个序列zui多20个校准点
校准类型：气体稀释，臭氧，GPT
气体设定：1个稀释气，20个源气
自动校准：根据用户设定的7天内的校准事件，提供20个定时驱动的校准路径
数字I/O：8位I/O控制校准功能
接口：RS232

校准系统
运行温度：5～40 ℃
规格尺寸：6.2"（15.6 cm）H×14.3"（36.4 cm）W×12.4"（31.6 cm）D
重量：19 lbs.（8.6 kg）
输入电压：98～264 VAC，100 VA，50/60 Hz